Bước 1: Doanh nghiệp đã nộp, đóng góp vào Quỹ phát triển khoa học và công nghệ tỉnh, thành phố trực thuộc Trung ương nơi doanh nghiệp đăng ký nộp thuế (sau đây gọi là Quỹ phát triển khoa học và công nghệ cấp tỉnh) theo quy định tại điểm a khoản 5 Điều 11 Nghị định số 95/2014/NĐ-CP ngày 16/8/2014 của Chính phủ quy định về đầu tư và cơ chế tài chính đối với hoạt động khoa học và công nghệ khi có nhiệm vụ khoa học và công nghệ cần sử dụng kinh phí, lập hồ sơ và gửi đến Quỹ phát triển khoa học và công nghệ cấp tỉnh.
Bước 2: Trong thời hạn 05 ngày làm việc kể từ ngày tiếp nhận hồ sơ, Quỹ phát triển khoa học và công nghệ cấp tỉnh kiểm tra tính đầy đủ, hợp lệ của hồ sơ và thông báo bằng văn bản yêu cầu sửa đổi, bổ sung hồ sơ chưa đầy đủ, hợp lệ (nếu có).
Bước 3: Trong thời hạn 35 ngày làm việc kể từ ngày nhận được hồ sơ đầy đủ, hợp lệ, Quỹ phát triển khoa học và công nghệ cấp tỉnh xem xét, hỗ trợ cho doanh nghiệp theo quy định. Trường hợp không đồng ý hỗ trợ, Quỹ phát triển khoa học và công nghệ cấp tỉnh phải trả lời bằng văn bản và nêu rõ lý do.